- Röntgenstrahllithographie
- Röntgenstrahllithographie f X-ray lithography
Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.
Röntgenstrahllithographie
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Anton Heuberger — (* 20. Februar 1942 in München; † 3. Februar 2011) war ein deutscher Ingenieur und Physiker. Heuberger war von 1993 bis 2007 Leiter des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie in Itzehoe. Daneben bekleidete er den Lehrstuhl für… … Deutsch Wikipedia
